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201 年MOCVD设备的国产化之路

2020-03-26 22:22:02来源:励志吧0次阅读

在政策支持和资金补贴的大力支持下,中国大陆的MOCVD设备需求量和增速居世界首位,但长久以来设备市场一直被国际两大MOCVD厂商德国AIXTRON和美国VEECO占据垄断地位。摆脱对进口设备的依赖,实现MOCVD设备的国产化,不仅是企业的需求、市场的需求,更是整个产业的需求。科技部发布的《产业 十二五 规划》中也提出,到2015年,大型MOCVD装备、关键原材料将实现国产化。

其实,国内不少企业和研究机构一直致力于MOCVD设备的研究,但大多是研制出样机之后便无下文。国产MOCVD设备一直在量产化和 卖出第一台设备 上困难丛丛。虽然在走向市场的过程中有些缓慢,但历经几年的艰辛研发和技术攻关,国产MOCVD厂商,比如广东昭信半导体、理想新能源、中科宏微、中晟光电、中微半导体、思捷爱普等在内的多家企业不仅推出了首台设备,还在市场化和量产方面成功的迈出了第一步。

一、理想能源MOCVD设备于璨扬光电正式投入试量产

201 年10月18日,理想能源设备(上海)有限公司与璨圆光电股份有限公司联合宣布:理想能源MOCVD设备已于台湾璨圆光电股份有限公司位于扬州的子公司-江苏璨扬光电有限公司的外延工厂正式投入试量产。这是继2012年12月具有国际尖端技术水平的首台MOCVD设备下线之后,理想能源与璨圆光电携手在国产MOCVD设备产业化方面取得的又一重大突破,实现了MOCVD设备完全自制化。

二、中晟光电大型MOCVD设备ProMaxyTM正式进入市场

201 年 月19日,中晟光电设备(上海)有限公司正式发布大型MOCVD设备ProMaxyTM进入市场。已有客户接受多腔ProMaxyTM并调试进展顺利。此外,多家客户对ProMaxyTM完成了现场验机与评估。

三、中微MOCVD设备技术性突破大获业界认可

中微 )的MOCVD设备PrismoD-Blue?于本月举办的第十五届中国国际工业博览会(简称 工博会 )上荣获银奖。该产品于今年 月正式发布,是此次获奖产品中唯一代表半导体外延工艺的MOCVD设备,该产品技术对于高亮度LED的大规模生产至关重要。上海蓝光科技有限公司是中微MOCVD设备的第一批用户之一,蓝光公司技术和质量管理副总裁郝茂盛博士特别提出: 中微的设备性能超出了我们的预期,达到了MOCVD设备所应具备的高工艺标准。

四、昭信半导体MOCVD设备正式交付量晶光电

201 年7月,昭信半导体迎来了发展历程上的又一个春天,公司定位于广东量晶光电科技有限公司的首台生产型MOCVD设备通过验收,正式交付量晶光电。这是昭信半导体MOCVD设备迈出市场化进程重要一步的又一个历史性时刻。

相比前些年,国产mocvd设备厂商研制出样机的新闻,今年有关国产MOCVD量产和交付使用的新闻逐渐成为主流。这从整体上说明了我国国产mocvd设备逐步被市场接受和认可。但在设备的稳定性、产品品质的一致性、设备的易操作性、交付使用后的设备调整使用以及服务方面,特别是帮助外延芯片企业降低生产成本、提升产品品质、提升市场的普遍认可度等方面,国产MOCVD设备厂商还有很长一段路要走。
 


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